基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 氦 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Helium |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 被GB/T 16943-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1997-08-13 |
| 实施日期： | 1998-05-01 |
| 首发日期： | 1997-08-13 |
| 作废日期： | 2010-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 化学工业部西南化工研究院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-11 |
| 页数： | 平装16开， 页数：6， 字数：7千字 |
| 书号： | 155066.1-14391 |
适用范围
标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体